第729章 请先生赴死!(2 / 4)

熟知后事的卿云很清楚,程进说的是对的。

浸入式、浸没式、浸润式,其光源都是193nm激光器,随后是根据瑞利公式的另一个参数:孔径,来实现精度的提高。

再之后,便是二次曝光技术,同样是基于193nm的光源。

而最终,在DUV后,ASML还是走了波长13.5nm的EUV路径。

但那是十来年后的事情了。

彼时的ASML已经一家独大,它的领先优势可以随意切换赛道,但此时的光刻机市场却并非如此。

此时还是群雄混战时期,谁先突破,便是赢家通吃。

ASML与尼康佳能的光刻机之战,其实是一个弱者在走投无路之下,抱着‘光脚的不怕穿鞋的’的赌命心态进行绝地突围的故事。

ASML能赢,并不在于林本坚的技术有多先进,而是在于林本坚给出了一个商业友好性极强的工艺方案。

在 ASML推出浸入式 193nm产品的半年后,尼康也宣布自己的 157nm产品以及 EPL产品样机完成。

然而,林本坚的浸入式属于小改进大效果,产品成熟度非常高,所以几乎没有人去订尼康的新品。

而半导体产品就是这样的特点,市场说了算。

赢得了市场,赢得了迭代的机会。

他想了想,还是耐心说道,“老师,您知道,我是一个商人。所以我习惯用商业的角度来看待问题。”

拿起矿泉水抿了一口,卿云继续说着,“您说,从投入……或者说对当前工艺的改进角度看,走157nm还是走浸入式193nm容易?”

程进茫然的看着他,摇摇头表示不知道,“但是技术路径就在摆着啊,科研是要攻坚克难的。”

卿云见状也只能无奈的耸了耸肩膀,“科研是科研的事,但作为一个企业家,我告诉你,我肯定选容易的。

有钱有市场我能继续出钱让科研研究下去,没钱我啥事都做不了。”

程进闻言嘶了一声,他好像明白了点。

卿云哂然一笑,“我们想要追赶别人,最好的法子是什么?”

“弯道超车?”

程进嗤笑了一声,他表示,这个口号已经喊了20年了,至少在半导体产业来说,是越超越离世界顶尖水平越远。

卿云翻了一个白眼,“是让敌人陷入泥潭里。”

他双手一摊,“193nm光刻工艺,全世界已经卡了20多年了,我们才刚刚起步,去年华电科45所才开始进行研究。

也就是说,从代际差距来看,此时我们和国际没太大区别,对吧?”

程进觉得自己牙齿有点疼。

特么的,要从这个角度说,确实没啥差距。

但特么的光刻机岂止是光源问题?

卿云见状笑了笑,“我知道差的还很远,但我们现在看得见对吧?但是如果他们走的慢一点,我们是不是差距就越小?

作为商人来说,197nm浸入式立刻可以实现65nm的生产,将现在130nm工艺直接提到半周期。

而走干式157nm,他们还需要从现在的130nm开始,连续走好几代才能达到65nm水平。

你说,作为商人,我怎么选?”

说到这里他顿了顿,“尼康他们之所以坚持157nm,是因为他们已经在这上面投入了太多,他们回不了头。

而ASML……现在半死不活的,他们在赌命。但是……”

卿云定定地望着程进,“老师,如果他们赌成功了呢?”

程进闻言愣住了。

他并不是一个纯粹的科研人员。

他只是一个赶鸭子上架的科研工作者。

而且,他的原生家庭,其实也是经商。

此时跳出科研工作者的角度来看问题,他反而明白了过来。

卿云淡淡的说道,“他死,我不敢说ASML永远也研发不出来浸入式,事实上ASML和他已经合作了大半年了。

但我们会获得宝贵的追上乃至赶超的时间。

您也知道,浸入式相对于干式的突破,难度系数很低,林本坚是想出了一个匪夷所思的鬼点子,而不是工艺上的革命,我们在现有的第三代基础上跳跳脚,不是不能达到的。”

07年我们便达到了90nm,只是光学系统拉胯,别人见你做出来了,直接不卖配件让我们没法量产,直到十年后才解决。

而且事实证明,从某种意义上来说干式是一条弯路。

因为干式光刻机,所依赖的设备仪器,特别是光学器件太过高端,国内产业链发展不均衡,无法形成有效的支撑配合。

但是浸入式不一样,唯二欠缺的,只是193nm光源和193nm光刻胶,其他的,就算是空白领域,也很简单。

而光源和光刻胶,这两样,并没有杠精想的那么难。

毕竟,论玩激光,华国客气的说法,是祖宗级别,不客气的说法,地球村在座的各位都是渣渣。

之前之所以出不来,一是‘造不如买’,和芯片一样,没有市场迭代。

且当时正处于我们融